Параметры и состав плазмы HBr и бинарных смесей HBr+Ar, He, N2 в условиях ВЧ индукционного разряда
DOI:
https://doi.org/10.18321/Ключевые слова:
плазма, бинарные смеси, индукционный разряд, диагностикаАннотация
Влияние состава смеси HBr+X, где Х=Ar, Не или N2 на параметры и плотность плазмы активных частиц анализировали с помощью комбинации диагностики плазмы и моделирования. Было показано, что состав стационарной плазмы в чистом HBr определяется атомно-молекулярными реакциями. Разбавление HBr любым упомянутым газом при постоянном давлении газа влияет на кинетику процессов под действием электронного удара через изменения средней энергии и формированием распада баланса электронов для заряженных частиц.
Библиографические ссылки
(1). Айнспрук Н., Браун Д. Плазменная технология в производстве СБИС. — М.: Мир, 1987. — 420 с.
(2). Layadi N., Colonell J.I., Lee J. // Bell Labs Tech. J. 1999. Vol. 4. P. 155.
(3). Mahorowala A.P., Sawin H.H., Jones R., Labun A.H. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2002. Vol. 20. P. 1055.
(4). Kim M., Min N.K., Yun S.J., Lee H.W., Efremov A., Kwon K.H. // Microelectron. Eng. 2008. Vol. 85. P. 348.
(5). Efremov A., Choi B.G., Nahm S., Lee H.W., Min N.K., Kwon K.H. // J. Korean Phys. Soc. 2008. Vol. 52. P. 48.
(6). Lieberman M.A., Lichtenberg A.J. Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. — New York: John Wiley & Sons Inc., 1994.
(7). Lee C., Lieberman M.A. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1995. Vol. 13. P. 368.
Загрузки
Опубликован
Выпуск
Раздел
Лицензия
Copyright (c) 2014 А.А. Клюшкин, А.М. Ефремов
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
Как цитировать
