ЖЖ индукциялық разрядта плазмада бирарлы қоспалардың HBr+Ar, He, N2 және HBr шамалары мен құрамдары
DOI:
https://doi.org/10.18321/Кілт сөздер:
плазма, екілік қоспалар, индукциялық разряд, диагностикаАңдатпа
Плазманың комбинациялық диагностикасы мен моделдеу арқылы қоспа құрамындағы HBr+Х, мындағы Х=Ar, He немесе N2 шамалары мен плазмадағы белсенді бөлшектердің тығыздықтағын зерттеу. Стационарлы плазмадағы HBr құрамын атомды-молекулалық реакция арқылы анықталды. HBr жоғарыда аталған кез келгенгазға қосқанда жұққан бөлшектер мен электрондардың ыдырау баланс энергиясы арқылы электронды соқтығыстың кинетикасына әсер ететіндігі дәлелденді.
Әдебиеттер тізімі
(1). Айнспрук Н., Браун Д. Плазменная технология в производстве СБИС. — М.: Мир, 1987. — 420 с.
(2). Layadi N., Colonell J.I., Lee J. // Bell Labs Tech. J. 1999. Vol. 4. P. 155.
(3). Mahorowala A.P., Sawin H.H., Jones R., Labun A.H. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2002. Vol. 20. P. 1055.
(4). Kim M., Min N.K., Yun S.J., Lee H.W., Efremov A., Kwon K.H. // Microelectron. Eng. 2008. Vol. 85. P. 348.
(5). Efremov A., Choi B.G., Nahm S., Lee H.W., Min N.K., Kwon K.H. // J. Korean Phys. Soc. 2008. Vol. 52. P. 48.
(6). Lieberman M.A., Lichtenberg A.J. Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. — New York: John Wiley & Sons Inc., 1994.
(7). Lee C., Lieberman M.A. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1995. Vol. 13. P. 368.
Жүктеулер
Жарияланды
Журналдың саны
Бөлім
Лицензия
Авторлық құқық (c) 2014 А.А. Клюшкин, А.М. Ефремов
Бұл жұмыс Creative Commons атрибуты бойынша лицензияланған. 4.0 Халықаралық лицензия.
Дәйексөзді қалай келтіруге болады
