ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКИ ПРОЦЕССОВ ПОЛИМЕРИЗАЦИИ В МЕТАНЕ
Ключевые слова:
плазма, программно-аппаратный комплекс, диагностика, метан, кинетика процессов, полимеризацияАннотация
В этой работе, мы разработали набор оборудования и соответствующее программное обеспечение для диагностики параметров плазмы по зондовой методике Ленгмюра и спектроскопии оптического излучения в условиях полимер формирований в плазме. Кроме того, мы отрегулировали кварцевый метод микробаланса для исследований обеих образования и разрушения кинетики для полимерных пленок.
Библиографические ссылки
(1) Ткачук Б.В., Колотыркин В.М. Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы. М.: Химия, 1977. 214 с.
(2) Arefi F., Andre V., Motjtazer-Rahmati P., Amouroux J. // Pure & Appl. Chem. 1992. Vol. 64, No. 5, P. 715-723. https://doi.org/10.1351/pac199264050715
(3) Иванов Ю.А., Лебедев Ю.А., Полак Л.С. Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии. М.: Наука, 1981, 142 с.
(4) Малов В.В. Пьезорезонансные датчики. М.: Энергоатомиздат, 1989. 272 с.
Загрузки
Опубликован
Как цитировать
Выпуск
Раздел
Лицензия
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.