ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКИ ПРОЦЕССОВ ПОЛИМЕРИЗАЦИИ В МЕТАНЕ
Keywords:
plasma, software and hardware, diagnostics, methane, kinetics of polymerizationAbstract
In this work, we designed the set of equipment and the corresponding software for diagnostics of plasma parameters by Langmuir probe technique and optical emission spectroscopy under the conditions of polymerforming plasmas. Also, we adjusted the quartz micro-balance method for the investigations of both formation and destruction kinetics for polymer films.
References
(1) Ткачук Б.В., Колотыркин В.М. Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы. М.: Химия, 1977. 214 с.
(2) Arefi F., Andre V., Motjtazer-Rahmati P., Amouroux J. // Pure & Appl. Chem. 1992. Vol. 64, No. 5, P. 715-723. https://doi.org/10.1351/pac199264050715
(3) Иванов Ю.А., Лебедев Ю.А., Полак Л.С. Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии. М.: Наука, 1981, 142 с.
(4) Малов В.В. Пьезорезонансные датчики. М.: Энергоатомиздат, 1989. 272 с.
