Структура и механические свойства углеродных пленок, полученных методом кислородно-ацетиленовой горелки

Е.С. Меркибаев; R. Fuchs; Б.З. Мансуров; Б.С. Медянова; А.К. Кенжегулов; А. Толеген; Б.Т. Лесбаев; Б.А. Алиев

doi:10.18321/

Авторлар

Е.С. Меркибаев Аль-Фараби атындағы Қазақ ұлттық университет, 050040, аль-Фараби д-лы, 71, Алматы, Қазақстан
R. Fuchs Материалдық инженерия институты, Сиген университеті, Пол-Бонатц-Страсс 9-11, 57076, Сиген, Германия
Б.З. Мансуров Аль-Фараби атындағы Қазақ ұлттық университет, 050040, аль-Фараби д-лы, 71, Алматы, Қазақстан
Б.С. Медянова Аль-Фараби атындағы Қазақ ұлттық университет, 050040, аль-Фараби д-лы, 71, Алматы, Қазақстан
А.К. Кенжегулов Аль-Фараби атындағы Қазақ ұлттық университет, 050040, аль-Фараби д-лы, 71, Алматы, Қазақстан
А. Толеген Аль-Фараби атындағы Қазақ ұлттық университет, 050040, аль-Фараби д-лы, 71, Алматы, Қазақстан
Б.Т. Лесбаев Жану проблемалары институты, 050012, Бөгенбай батыр к., 172, Алматы, Қазақстан
Б.А. Алиев Аль-Фараби атындағы Қазақ ұлттық университет, 050040, аль-Фараби д-лы, 71, Алматы, Қазақстан

DOI:

https://doi.org/10.18321/

Кілт сөздер:

көміртекті қабықшалар, жану, синтез, кремний

Аңдатпа

Кремнилі пластиналардың бетінде оттекті-ацетиленді оттық әдісімен көміртекті пленкаларды синтездеу тәжірибелерінің нәтижелері келтірілген. Алынған үлгілер жарықты комбинациялық шашырату әдісімен зерттелген. Ұсынған әдістеме көміртекті материалдарды графит тәріздес спектрден шыны көміртекке дейін жеткілікті жоғары жылдамдықпен тұндыра алады.

Әдебиеттер тізімі

(1) May P. W. Diamond thin films: a 21st-century material // Phil. Trans. R. Soc. Lond. A. 2000. V. 358. P. 473–495.

(2) Krueger A. Carbon Materials and Nanotechnology. Weinheim: WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, 2010. 475 p. ISBN 978-3-527-31803-2.

(3) Lee S. T., Lin Z., Jiang X. CVD diamond films: nucleation and growth // Materials Science and Engineering. 1999. V. 25. P. 123–154.

(4) Schmitt M., Bistac S. Nanofriction of diamond coatings obtained by flame process // Journal of Physics: Conference Series. 2007. V. 61. P. 1027–1031.

(5) Rozbicki R. T., Sarin V. K. A technique for large area deposition of diamond via combustion flame synthesis // Thin Solid Films. 1998. V. 332. P. 87–92.

(6) Chu P. K., Li L. Characterization of amorphous and nanocrystalline carbon films // Materials Chemistry and Physics. 2006. V. 96. P. 253–277.

(7) Букалов С. С., и др. Исследование строения графитов и некоторых других sp² углеродных материалов методами микро-спектроскопии КР и рентгеновской дифрактометрии // Российский химический журнал (Журнал Российского химического общества им. Д. И. Менделеева). 2006. Т. L, № 1. С. 83–91.

(8) Ferrari A. C. Raman spectroscopy of graphene and graphite: Disorder, electron–phonon coupling, doping and nonadiabatic effects // Solid State Communications. 2007. V. 143. P. 47–57.

(9) Ferrari A. C., Robertson J. Raman spectroscopy of amorphous, nanostructured, diamond-like carbon, and nanodiamond // Phil. Trans. R. Soc. Lond. A. 2004. V. 362. P. 2477–2512.

(10) Головин Ю. И. Наноиндентирование и механические свойства твёрдых тел в субмикрообъёмах, тонких приповерхностных слоях и плёнках // Физика твёрдого тела. 2008. Т. 50, вып. 12. С. 2113–2142.

(11) Fischer-Cripps A. C. Nanoindentation. 3rd ed. Springer, 2011. 279 p.

(12) Меркибаев Е. С., и др. Синтез углеродных плёнок методом кислородно-ацетиленовой горелки // Материалы симпозиума «Горение и плазмохимия». Алматы, 18–19 сентября 2013 г. С. 286–291.