Тұрақты тоқта солғын разрядта СН4+Аr қоспасының плазмалық полимеризациясының кинетикасының әсері
DOI:
https://doi.org/10.18321/Кілт сөздер:
қоспа, аргон, плазма, кинетика, полимерленуАңдатпа
Моделдік әдіс пен комбинациялық эксперименттердің көмегімен СН4+Аr қоспасының плазмада нейтралды бөлшектер мен жұққан бөлшектердің стационарлы концентрацияда полимерли материалдың өсуін зерттелді. Осы алынған деректер негізінде полимеризацияның мүмкін болатын механизмдерінің талқылауы жасалынды.
Әдебиеттер тізімі
(1). Eddy C.R., Leonhardt D., Douglass S.R., Shamamian V.A., Thoms B.D., Buler J.E. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1999. Vol. 17. No. 3. P. 780–785.
(2). Mao M., Bogaerts A. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2010. Vol. 43. No. 20. Art. 205201.
(3). Герасимов Ю.А., Грачева Т.А., Лебедев Ю.А. // Химия высоких энергий. 1984. Т. 18. № 4. С. 363–367.
(4). Иванов Ю.А., Эпштейн И.Л. // Химия высоких энергий. 1984. Т. 18. № 5. С. 461–465.
(5). Солдатова И.В., Котенев В.А. // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2009. Т. 45. № 6. С. 574–578.
(6). Солдатова И.В., Котенев В.А. // Физикохимия поверхности и защита материалов. 2012. Т. 48. № 2. С. 159–164.
(7). Ефремов А.М., Юдина А.В., Светцов В.И. // Теплофизика высоких температур. 2012. Т. 50. № 1. С. 33–38.
(8). Семенова О.А., Ефремов А.М., Баринов С.М., Светцов В.И. // Теплофизика высоких температур. 2014. Т. 52. № 2. С. 1–6.
(9). Gogolidest E., Buteaut C., Rhallabiz A., Turban G. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1994. Vol. 27. P. 818–823.
(10). Herrbout D., Bogaerts A., Yan M., Gijbels R., Goedheer W., Dekempeneer E. // J. Appl. Phys. 2001. Vol. 90. No. 2. P. 520–525.
(11). Ясуда Х. Полимеризация в плазме. М.: Мир, 1988. 376 с.
(12). Yu J.S., Lee Y.T. // J. Korean Phys. Soc. 2000. Vol. 37. P. 241–245.
(13). Feurprier Y., Cardinaud Ch., Grolleau B., Turban G. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1998. Vol. 16. P. 1552–1557.
Жүктеулер
Жарияланды
Журналдың саны
Бөлім
Лицензия
Авторлық құқық (c) 2014 С.М. Баринов, А.М. Ефремов, А.А. Кучумов
Бұл жұмыс Creative Commons атрибуты бойынша лицензияланған. 4.0 Халықаралық лицензия.
Дәйексөзді қалай келтіруге болады
