Кинетика рекомбинации атомов в плазме хлора на образцах кремния

Д.В. Ситанов; В.В. Кашин

doi:10.18321/

Кремний үлгісінде хлор атомының плазмада рекомбинациялық кинетикасы

Авторлар

Д.В. Ситанов ФГБОУ ВПО «Ивановскийдағы мемлекеттік химико-технологиялық университет», Шереметьевский д. 7, 153000, Иваново
В.В. Кашин ФГБОУ ВПО «Ивановскийдағы мемлекеттік химико-технологиялық университет», Шереметьевский д. 7, 153000, Иваново

DOI:

https://doi.org/10.18321/

Кілт сөздер:

плазма, кремний, рекомбинация, стационарлық күй

Аңдатпа

Бұл жұмыста кремний бетіндегі хлор атомының Сl₂ плазмада рекомбинациялық (мүмкін) процестердің кинетикасын релаксационды импулсті әдісімен сипатталған. Өлшеу кезіндегі кететін қателіктер факторлар сарапталынды. Стационардың беттік қабаттағы уақытша интервалы анықталды.

Әдебиеттер тізімі

(1). Кириллов Ю.В., Ситанов Д.В. Исследование процессов в высокоэнергетических установках // Химическая физика и электроника. 2004. Т. 38. № 3. С. 234–238.

(2). Ефремов А.М., Светцов В.И., Ситанов Д.В. Физические процессы в плазменных системах // Теплофизика высоких температур. 2008. Т. 46. № 1. С. 1–5.

(3). Macko P., Veis P., Cernogora G. Diagnostics of low-temperature plasma // Plasma Sources Science and Technology. 2004. Vol. 13. P. 251–257.

Жүктеулер

PDF (Russian)

Жарияланды

2014-09-19

Журналдың саны

Нөмір 12 № 3 (2014): ГОРЕНИЕ И ПЛАЗМОХИМИЯ

Бөлім

Статьи

Лицензия

Бұл жұмыс Creative Commons атрибуты бойынша лицензияланған. 4.0 Халықаралық лицензия.

Дәйексөзді қалай келтіруге болады

Ситанов, Д., & Кашин, В. (2014). Кремний үлгісінде хлор атомының плазмада рекомбинациялық кинетикасы. Горение и плазмохимия, 12(3), 165-170. https://doi.org/10.18321/