Магнетронная технология получения графена и исследование его структурных характеристик

Б.А. Байтимбетова; Б.М. Верменичев; З.А. Мансуров

doi:10.18321/

Авторлар

Б.А. Байтимбетова Қ.И. Сәтбаев атындағы Қазақ ұлттық техникалық университеті, Сәтбаев к. 22, 050013, Алматы қ.
Б.М. Верменичев Қ.И. Сәтбаев атындағы Қазақ ұлттық техникалық университеті, Сәтбаев к. 22, 050013, Алматы қ.
З.А. Мансуров Жану проблемалары институты, Богенбай батыр к. 172, 050012, Алматы қ.

DOI:

https://doi.org/10.18321/

Кілт сөздер:

графен, магнетрон, шашырау, спектроскопия, көміртекті нанотүтіктер

Аңдатпа

Құрамында бензол сақинасы бар ароматты көмірсутектерді (нафталин) булы ортада айдау арқылы реактивті магнетронды бүрку әдісімен алғаш рет графенді таспалар алынды. Мақалада графеннің алыну әдісі және атомдық – күш микроскопиясы, рентген құрылымдық талдау мен жарықтың комбинациялық шашырау спектроскопиясы әдістерінің құрылымдық ерекшеліктерін зерттеу көрсетілген. Раман спектроскопия әдісі арқылы жиілігі 2728 см^-1 болатын тербелмелі режимде (2D - аймақ) графеннің шыңдары бақыланды. Графеннің және көміртекті нанотүтікшенің түзілуін атомдық-күш микроскопымен зерттелген нәтижелер растайды. Алынған үлгілерге осы әдістер мен талқылаулардың зерттеу нәтижелері жүргізілді.

Әдебиеттер тізімі

(1) Geim A.K., Novoselov K.S. The rise of graphene. Nature Materials, 2007, V.6(3), P.183–191.

(2) Сорокин П.Б., Чернозатонский Л.А. Полупроводниковые наноструктуры на основе графена. Успехи физических наук, 2013, №2.

(3) Каштанов П.В., Смирнов Б.М., Хипплер Р. Магнетронная плазма и нанотехнология. Успехи физических наук, 2007, Т.177, №5, С.473–510.

(4) Байтимбетова Б.А., Верменичев Б.М. Способ получения углеродных наноструктур путем магнетронного реактивного распыления графита в возгоняемых парах ароматических углеводородов. Патент 2013/0803.1.

(5) Шабанова И.Н., Кодолов В.И., Теребова Н.С., Тринеева В.В. Рентгеноэлектронная спектроскопия в исследовании металл/углеродных наносистем и наноструктурированных материалов. Учебное пособие. Ижевск, 2012. С.280.

(6) Liu Yu., Pan C., Wang J. Raman spectra of carbon nanotubes and nanofibers prepared by ethanol flames. Journal of Materials Science, 2004, No.39, P.1091–1094.

(7) Eklud P.C., Holden J.M., Jishi R.A. Vibrational modes of carbon nanotubes; spectroscopy and theory. Carbon, 1995, No.33, P.959–972.

(8) Nemanich R.J., Solin S.A. First- and second-order Raman scattering from finite-size crystals of graphite. Physical Review B, 1979, V.20(2), P.392–401.