DEFINING PARAMETERS OF MICROWAVE PLASMA IN THE TE10 WAVEFIELD EXCITED BY A 2.45 GHZ MAGNETRON
Keywords:
Ultra high frequency plasma magnetron source excitation spectra, inductively coupled plasmaAbstract
This paper discusses the results of defining atom and ion temperatures and electron density in microwave plasma excited by a magnetron at a frequency of 2.45 GHz. The obtained parameters of excitation source are compared with characteristics of other microwave plasma sources and ICP.
References
(1) Пелипасов О.В., Максимов А.Ю., Путьмаков А.Н., Боровиков В.М. Разработка источника СВЧ плазмы для атомно- эмиссионного спектрального анализа // Труды ХIII Международного симпозиума «Применение МАЭС в промышленности», Новосибирск, 2013, с 51-58.
(2) Боровиков В.М., Петроченко Д.В., Путьмаков А.Н., Селюнин Д.О. Универсальный генератор «Везувий-3» // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012. Т. 78, № 1-II. С. 62-66.
(3) Jankowski K.J., Reszke E. Microwave Induced Plasma Analytical Spectrometry // RSC Publishing, 2011. https://doi.org/10.1039/9781849732147
(4) Путьмаков А.Н., Попков В.А., Печурин В.И. «Экспресс» – новый спектрометр для АЭСА, Труды Х Международного симпозиума «Применение МАЭС в промышленности»,Новосибирск, 2009, с 74-75.
(5) Лабусов В.А., Попов В.И., Путьмаков А.Н., Бехтерев А.В., Селюнин Д.О. Анализаторы МАЭС и их использование в качестве систем регистрации и обработки атомно- эмиссионных спектров// Аналитика и кон- троль. 2005. Т. 9, № 2. С. 110-115.
(6) Пелипасов О.В., Лабусов В.А., Семёнов З.В. Идентификация молекулярных полос в атомно-эмиссионных спектрах, зарегистрированных анализаторами МАЭС // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012. Т. 78, № 1-II. С. 44-49.
(7) Лохте-Хольтгревен В. Методы исследования плазмы. Спектроскопия, лазеры, зонды. Перевод с англ. под ред. С.Ю. Лукьянова. М.:Мир, 1971 г. – 550 с.
(8) Yubero C., Garcia M.C., Calzada M.D. On the use of the Hα spectral line to determine the electron density in a microwave (2.45GHz) plasma torch at atmospheric pressure // Spectr. Acta. Part B Atomic Spectr, 01.2006. https://doi.org/10.1016/j.sab.2006.03.011
(9) Timmermans E. Atomic and Molecular Excitation Processes in Microwave Induced Plasmas// A Spectroscopic Study Eindhoven University of Technology, 1999, – 138 c.
(10)Griem H. R., Kolb A.C., Shen K.Y., Phys. Rev.,116, 4 (1959). https://doi.org/10.1103/PhysRev.116.4
(11)Гейдон А.Г., Вольфгард Х.Г. Пламя его структура излучение и температура: пер. с англ. М.: Металлургиздат. 1959. 330 с.
(12)Полак Л.С. и др. Теоретическая и прикладная плазмохимия // Москва, Наука. 1975. 304 с.
(13)Corliss, C.H., Shumaker, J.B. Transition probabilities in argon I // J. Res. Nat. Bur. Stand. Sec. A: Phys. Ch., Vol. 71A, No. 6, 1967, p. 575. https://doi.org/10.6028/jres.071A.048
(14)Corliss C. H. Experimental transition probabilities for spectral lines of seventy elements // National Bureau of Standards. Monograph, Hardcover, – January 1, 1962. https://doi.org/10.6028/NBS.MONO.53
(15) Fuhr J.R. and Wiese W.L. A Critical Compilation of Atomic Transition Probabilities for Neutral and Singly Ionized Iron // JPCRD 35(4) pp. 1669-1809 (2006). https://doi.org/10.1063/1.2218876
