ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ СВЧ ПЛАЗМЫ В ПОЛЕ TE10 ВОЛНЫ, ВОЗБУЖДАЕМОЙ МАГНЕТРОНОМ С ЧАСТОТОЙ 2,45 ГГЦ

Авторы

  • О.В. Пелипасов Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, Новосибирск, пр. академика Коптюга, 1; Новосибирский государственный технический университет, 630073, Новосибирск, пр. К. Маркса, 20; ООО «ВМК – Оптоэлектроника», 630090, Новосибирск, пр. академика Коптюга,1
  • С.Б. Заякина Институт геологии и минералогии им. В.С. Соболева СО РАН, пр. академика Коптюга, 3, Новосибирск, Россия
  • А.Ю. Максимов ООО «ВМК – Оптоэлектроника», 630090, Новосибирск, пр. академика Коптюга,1
  • А.Н. Путьмаков Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, Новосибирск, пр. академика Коптюга, 1; ООО «ВМК – Оптоэлектроника», 630090, Новосибирск, пр. академика Коптюга,1

Ключевые слова:

СВЧ плазма, магнетрон, источник возбуждения спектров, индуктивно-связанная плазма

Аннотация

В этой статье обсуждается результаты определения атома и иона температуры и плотности электронов в микроволновой плазме возбуждаемой магнетроном на частоте 2,45 ГГц. Полученные параметры от источника возбуждения сравниваются с характеристиками других источников микроволновой плазмы и ICP.

Библиографические ссылки

(1) Пелипасов О.В., Максимов А.Ю., Путьмаков А.Н., Боровиков В.М. Разработка источника СВЧ плазмы для атомно- эмиссионного спектрального анализа // Труды ХIII Международного симпозиума «Применение МАЭС в промышленности», Новосибирск, 2013, с 51-58.

(2) Боровиков В.М., Петроченко Д.В., Путьмаков А.Н., Селюнин Д.О. Универсальный генератор «Везувий-3» // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012. Т. 78, № 1-II. С. 62-66.

(3) Jankowski K.J., Reszke E. Microwave Induced Plasma Analytical Spectrometry // RSC Publishing, 2011. https://doi.org/10.1039/9781849732147

(4) Путьмаков А.Н., Попков В.А., Печурин В.И. «Экспресс» – новый спектрометр для АЭСА, Труды Х Международного симпозиума «Применение МАЭС в промышленности»,Новосибирск, 2009, с 74-75.

(5) Лабусов В.А., Попов В.И., Путьмаков А.Н., Бехтерев А.В., Селюнин Д.О. Анализаторы МАЭС и их использование в качестве систем регистрации и обработки атомно- эмиссионных спектров// Аналитика и кон- троль. 2005. Т. 9, № 2. С. 110-115.

(6) Пелипасов О.В., Лабусов В.А., Семёнов З.В. Идентификация молекулярных полос в атомно-эмиссионных спектрах, зарегистрированных анализаторами МАЭС // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012. Т. 78, № 1-II. С. 44-49.

(7) Лохте-Хольтгревен В. Методы исследования плазмы. Спектроскопия, лазеры, зонды. Перевод с англ. под ред. С.Ю. Лукьянова. М.:Мир, 1971 г. – 550 с.

(8) Yubero C., Garcia M.C., Calzada M.D. On the use of the Hα spectral line to determine the electron density in a microwave (2.45GHz) plasma torch at atmospheric pressure // Spectr. Acta. Part B Atomic Spectr, 01.2006. https://doi.org/10.1016/j.sab.2006.03.011

(9) Timmermans E. Atomic and Molecular Excitation Processes in Microwave Induced Plasmas// A Spectroscopic Study Eindhoven University of Technology, 1999, – 138 c.

(10)Griem H. R., Kolb A.C., Shen K.Y., Phys. Rev.,116, 4 (1959). https://doi.org/10.1103/PhysRev.116.4

(11)Гейдон А.Г., Вольфгард Х.Г. Пламя его структура излучение и температура: пер. с англ. М.: Металлургиздат. 1959. 330 с.

(12)Полак Л.С. и др. Теоретическая и прикладная плазмохимия // Москва, Наука. 1975. 304 с.

(13)Corliss, C.H., Shumaker, J.B. Transition probabilities in argon I // J. Res. Nat. Bur. Stand. Sec. A: Phys. Ch., Vol. 71A, No. 6, 1967, p. 575. https://doi.org/10.6028/jres.071A.048

(14)Corliss C. H. Experimental transition probabilities for spectral lines of seventy elements // National Bureau of Standards. Monograph, Hardcover, – January 1, 1962. https://doi.org/10.6028/NBS.MONO.53

(15) Fuhr J.R. and Wiese W.L. A Critical Compilation of Atomic Transition Probabilities for Neutral and Singly Ionized Iron // JPCRD 35(4) pp. 1669-1809 (2006). https://doi.org/10.1063/1.2218876

Загрузки

Опубликован

17-10-2015

Как цитировать

Пелипасов, О., Заякина, С., Максимов, А., & Путьмаков, А. (2015). ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ СВЧ ПЛАЗМЫ В ПОЛЕ TE10 ВОЛНЫ, ВОЗБУЖДАЕМОЙ МАГНЕТРОНОМ С ЧАСТОТОЙ 2,45 ГГЦ. Горение и плазмохимия, 13(3), 193–198. извлечено от https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/330

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)