ИОНИЗАЦИОННО-ПОЛЕВАЯ НЕУСТОЙЧИВОСТЬ В ВЫСОКОЧАСТОТНОМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
Ключевые слова:
высокочастотный разряд, ионизационная неустойчивость, плазма, разрядная трубка, давление газа, ксенонАннотация
Рассматривается ионизационная неустойчивость разряда, при поддержке плоской волны в бесконечной и конечной цилиндрической разрядной трубки. Когда условие резонанса при низком давлении нестабильность приводит к возбуждению поверхностных волн. Амплитуда поверхностной волны может превышать поле плоской волны, в результате чего существование разряда при более низких значениях поля и неоднородностью плазмы. Аналогичные эффекты могут происходить в больших размерах плазменного травления реакторов.
Библиографические ссылки
(1) В.Б. Гильденбург, А.В. Ким. // Журнал экспериментальной и теоритической физики. 1978. Т. 74. С. 141.
(2) Wood. R.W. // Phys. Rev. 35 (1930) 673. https://doi.org/10.1103/PhysRev.35.673
(3) Penfold A.C., Thornton J.A., Warder R.C. // Czechosl. J. Phys. 1973. V. B23 P. 431. https://doi.org/10.1007/BF01594013
(4) Джерпетов Х.А., Зайцев А.А. // Доклады АН СССР. 1953. Т. 89. С. 825.
(5) Зайцев А.А., Джерпетов Х.А. // Журнал экспериментальной и теоритической физики. 1953. Т. 24. С. 516.
(6) Двинин С.А., Довженко В.А., Солнцев Г.С. // Физика плазмы. 1982. Т. 8. С. 1228.
(7) Вихарев А.Л., Гильденбург В.Б., Иванов О.А., Степанов А.Н. // Физика плазмы. 1984. Т. 10. С. 165.
(8) Вихарев А.Л., Гильденбург В.Б., Ким А.В., Литвак А.Г., Семенов В.Е. // В сб.: Высокочастотный разряд в волновых полях. Горький: ИПФ АН СССР. 1988. C. 41.
(9) Ланда П.С. Автоколебания в распределенных системах. М.: URSS/Книжный дом «Либроком», 2010
(10) Б.С. Кернер, В.В. Осипов В.В. Автосолитоны. М.: Наука. 1991.
(11) Вологиров А.Г., Двинин С.А., Михеев В.В., Свиридкина В.С. // Физика плазмы. 2008. Т. 34, С. 746
Загрузки
Опубликован
Как цитировать
Выпуск
Раздел
Лицензия
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
