СЭМ ИССЛЕДОВАНИЯ НАНОСТРУКТУР SiC и C, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МВ-ХОГФ
Ключевые слова:
наноструктуры карбида кремния и углерода, химическое осаждение из газовой фазы, микроволновая плазма, пористый кремний.Аннотация
В статье представлены результаты экспериментов по синтезу наноструктур SiC и C методом химического осаждения из газовой фазы в микроволновой плазме. В качестве подложек использовались пластины полированного монокристаллического и пористого кремния. Исследования методом сканирующей электронной микроскопии показали, что образовавшиеся наноструктуры имеют диаметр 200-350 нм и шероховатую поверхность. Образование наноструктур на полированном Si происходит на буферном слое SiC. Анализ результатов сканирующей электронной микроскопии образцов показывает, что в отличии от полированного Si рост наноструктур на поверхности пористого кремния носит более массовый характер. Результаты исследований методом комбинационного рассеяния света подтвердили, что на полированном Si образуется плёнка карбида кремния со структурой политипа 3С-SiC. Также можно отметить присутствие основных углеродных пиков в пределах 1338.2 и 1583 см-1, которые соответствуют углеродным наноструктурам на обоих типах подложек.
Библиографические ссылки
(1) В.Л. Кузнецов, А.Н. Усольцева, И.Н. Мазов. Общие закономерности формирования углеродных наноструктур и нитевидных кристаллов карбида кремния на поверхности металлических катализаторов // Рос. Хим. Ж. – 2004 – Т. XLVIII – №5 – С. 37-45.
(2) Weimin Zhou, Yafei Zhang, Xiaoming Niu, and Guoquan Min. One-Dimensional SiC Nanostructures: Synthesis and Properties // 2008 – Chapter 2. – P. 17-44. 3. Бережкова Г.В. Нитевидные кристаллы. М.: Наука, 1969, с. 159.
(4) Chrysanthou A., Grieveson P. J. Mater. Sei., 1991, v. 26, p. 3463-3476. https://doi.org/10.1007/BF00557132
(5) Junho Jeong, Gwiy-Sang Chung, Shigehiro Nishino. Raman Scattering Investigation of Polycrystalline 3C-SiC Film Deposited on SiO2 by Using APCVD with Hexamethyldisilane // Journal of the Korean Physical Society. – 2008. – Vol. 52. – No. 1. – P.43-47. https://doi.org/10.3938/jkps.52.43
(6) Feng-Ming Liu, Bin Ren, Jia-Wei Yan, Bing-Wei Mao, Zhong-Qun Tian. Initial Oxidation Processes on Hydrogenated Silicon Surfaces Studied by In Situ Raman Spectroscopy // Journal of the Electrochemical Society. – 2002 – Vol.149 – P. 95-99. https://doi.org/10.1149/1.1426400
(7) Keith B. Dillon, David W. H. Rankin. Spectroscopic Properties of Inorganic and Organometallic Compounds // Royal Society of Chemistry. – 20 December, 2000. – Vol.33 – P. 311.
(8) Giuseppe Perna, Maria Lasalvia, Crescenzio Gallo, Giuseppe Quartucci and Vito Capozzi. Vibrational Characterization of Synthetic Eumelanin by Means of Raman and Surface Enhanced Raman Scattering // The Open Surface Science Journal. – 2013. – Vol.5 – P.1-8. https://doi.org/10.2174/1876531901305010001
(9) Ihtesham ur Rehman, Zanyar Movasaghi, Shazza Rehman. Vibrational Spectroscopy for Tissue Analysis // Series in Medical Physics and Biomedical Engineering. – 27 September 2012 – P.281.
(10) Sebastien Nanot, Nicholas A.Thompson, i-Hee Kim, Xuan Wang, William D.Rice, Erik H. Hároz, Yogeeswaran Ganesan, Cary L.Pint, Junichiro Kono. Single-Walled Carbon Nanotubes // Springer Handbook of Nanomaterials. – 2013 – Part A/4. – P.118-119.
(11) Zheng Yan, Andrew R. Barron. Characterization of graphene by Raman spectroscopy // Режим доступа: http://cnx.org/content/m34667/1.2/
(12) D. Wang, C. Xue, H. Bai, N. Jiang, Silicon carbide nanowires grown on graphene sheets, Ceramics International, http://dx.doi.org/10.1016/j.ceramint.2014.12.117
Загрузки
Опубликован
Как цитировать
Выпуск
Раздел
Лицензия
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
