Клюшкин А, Ефремов А. Параметры и состав плазмы HBr и бинарных смесей HBr+Ar, He, N2 в условиях ВЧ индукционного разряда. ГиП [Internet]. 2014 Dec. 25 [cited 2025 Oct. 20];12(4):229-34. Available from: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/735