Мурин Д, Дунаев А, Пивоваренок С, Алякин Д. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ТРАВЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ ФРЕОНА R12, МЕТОДОМ АСМ. ГиП [Internet]. 2015 Dec. 20 [cited 2025 Oct. 20];13(4):265-70. Available from: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/344