Дунаев А, Алякин Д. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСЯХ HCl/Ar,Cl2,H2 МЕТОДОМ АСМ. ГиП [Internet]. 2015 Apr. 20 [cited 2025 Oct. 20];13(2):148-53. Available from: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/323