Дунаев, А.В., and Д.А. Алякин. “ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСЯХ HCl Ar,Cl2,H2 МЕТОДОМ АСМ”. Горение и плазмохимия 13, no. 2 (April 20, 2015): 148–153. Accessed October 20, 2025. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/323.