Д. Мурин, А. Дунаев, С. Пивоваренок, and Д. Алякин, “ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ТРАВЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ ФРЕОНА R12, МЕТОДОМ АСМ”, Горение и плазмохимия, vol. 13, no. 4, pp. 265–270, Dec. 2015, Accessed: Feb. 25, 2026. [Online]. Available: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/344