[1]
Д. Мурин, А. Дунаев, С. Пивоваренок, and Д. Алякин, “ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ТРАВЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ ФРЕОНА R12, МЕТОДОМ АСМ”, ГиП, vol. 13, no. 4, pp. 265–270, Dec. 2015, Accessed: Oct. 20, 2025. [Online]. Available: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/344