А. Дунаев and Д. Алякин, “ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСЯХ HCl/Ar,Cl2,H2 МЕТОДОМ АСМ”, ГиП, vol. 13, no. 2, pp. 148–153, Apr. 2015, Accessed: Oct. 20, 2025. [Online]. Available: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/323