Дунаев, А. and Алякин, Д. (2015) “ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСЯХ HCl/Ar,Cl2,H2 МЕТОДОМ АСМ”, Горение и плазмохимия, 13(2), pp. 148–153. Available at: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/323 (Accessed: 20 October 2025).