МУРИН, Д.Б.; ДУНАЕВ, А.В.; ПИВОВАРЕНОК, С.А.; АЛЯКИН, Д.А. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ТРАВЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ ФРЕОНА R12, МЕТОДОМ АСМ. Горение и плазмохимия, [S. l.], v. 13, n. 4, p. 265–270, 2015. Disponível em: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/344. Acesso em: 20 oct. 2025.