Клюшкин А, Ефремов А. Параметры и состав плазмы HBr и бинарных смесей HBr+Ar, He, N2 в условиях ВЧ индукционного разряда. ГиП. 2014;12(4):229-234. Accessed December 23, 2025. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/735