Мурин Д, Дунаев А, Пивоваренок С, Алякин Д. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ТРАВЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ ФРЕОНА R12, МЕТОДОМ АСМ. Горение и плазмохимия. 2015;13(4):265-270. Accessed February 25, 2026. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/344