Дунаев А, Алякин Д. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСЯХ HCl/Ar,Cl2,H2 МЕТОДОМ АСМ. ГиП. 2015;13(2):148-153. Accessed October 20, 2025. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/323