Вернуться к Подробностям о статье
ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСЯХ HCl/Ar,Cl2,H2 МЕТОДОМ АСМ
Скачать
Скачать PDF
Контакты: Редакция журнала "Горение и плазмохимия", Институт проблем горения, ул. Богенбай батыра 172. E-mail: cpc.journal.icp@gmail.com