Дунаев А, Алякин Д. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСЯХ HCl/Ar,Cl2,H2 МЕТОДОМ АСМ. Горение и плазмохимия [Интернет]. 20 апрель 2015 г. [цитируется по 21 ноябрь 2024 г.];13(2):148-53. доступно на: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/323