Амиров И, Изюмов М, Наумов В. Ионное - и ионно-химическое травление пленок металлов в плотной плазме ВЧ индукционного разряда. Горение и плазмохимия [Internet]. 2014 Sep. 19 [cited 2026 Feb. 25];12(3):189-93. Available from: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/729