Руденко К, Орликовский А. Плазмостимулированное aтомно-слоевое осаждение в технологиях создания структур наноэлектроники. Горение и плазмохимия [Internet]. 2014 Sep. 19 [cited 2026 Feb. 25];12(3):183-8. Available from: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/728