Дунаев, А.В., и Д.А. Алякин. «ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСЯХ HCl/Ar,Cl2,H2 МЕТОДОМ АСМ». Горение и плазмохимия 13, no. 2 (апрель 20, 2015): 148–153. просмотрено ноябрь 24, 2024. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/323.