[1]
А. Дунаев и Д. Алякин, «ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСЯХ HCl/Ar,Cl2,H2 МЕТОДОМ АСМ», Горение и плазмохимия, т. 13, вып. 2, сс. 148–153, апр. 2015.