И. Амиров, М. Изюмов, and В. Наумов, “Ионное - и ионно-химическое травление пленок металлов в плотной плазме ВЧ индукционного разряда”, Горение и плазмохимия, vol. 12, no. 3, pp. 189–193, Sep. 2014, Accessed: Feb. 25, 2026. [Online]. Available: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/729