К. Руденко and А. Орликовский, “Плазмостимулированное aтомно-слоевое осаждение в технологиях создания структур наноэлектроники”, Горение и плазмохимия, vol. 12, no. 3, pp. 183–188, Sep. 2014, Accessed: Feb. 25, 2026. [Online]. Available: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/728