С. Баринов and А. Ефремов, “Кинетика роста и плазменной деструкции пленок, осаждаемых в тлеющем разряде в метане”, ГиП, vol. 12, no. 3, pp. 171–176, Sep. 2014, Accessed: Dec. 23, 2025. [Online]. Available: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/726