С. Баринов and А. Ефремов, “Кинетика роста и плазменной деструкции пленок, осаждаемых в тлеющем разряде в метане”, Горение и плазмохимия, vol. 12, no. 3, pp. 171–176, Sep. 2014, Accessed: Feb. 25, 2026. [Online]. Available: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/726