Д. Ситанов and В. Кашин, “Кинетика рекомбинации атомов в плазме хлора на образцах кремния”, ГиП, vol. 12, no. 3, pp. 165–170, Sep. 2014, Accessed: Dec. 23, 2025. [Online]. Available: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/723