Д. Ситанов and В. Кашин, “Кинетика рекомбинации атомов в плазме хлора на образцах кремния”, Горение и плазмохимия, vol. 12, no. 3, pp. 165–170, Sep. 2014, Accessed: Feb. 25, 2026. [Online]. Available: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/723