Дунаев, А. и Алякин, Д. (2015) «ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСЯХ HCl/Ar,Cl2,H2 МЕТОДОМ АСМ», Горение и плазмохимия, 13(2), сс. 148–153. доступно на: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/323 (просмотрено: 24 ноябрь 2024).