Амиров, И., Изюмов, М. and Наумов, В. (2014) “Ионное - и ионно-химическое травление пленок металлов в плотной плазме ВЧ индукционного разряда”, Горение и плазмохимия, 12(3), pp. 189–193. Available at: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/729 (Accessed: 23 December 2025).