Руденко, К. and Орликовский, А. (2014) “Плазмостимулированное aтомно-слоевое осаждение в технологиях создания структур наноэлектроники”, Горение и плазмохимия, 12(3), pp. 183–188. Available at: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/728 (Accessed: 23 December 2025).