Руденко, К.Ф., and А.А. Орликовский. 2014. “Плазмостимулированное aтомно-слоевое осаждение в технологиях создания структур наноэлектроники”. Горение и плазмохимия 12 (3): 183-88. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/728.