МУРИН, Д.; ДУНАЕВ, А.; ПИВОВАРЕНОК, С.; АЛЯКИН, Д. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ТРАВЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ ФРЕОНА R12, МЕТОДОМ АСМ. Горение и плазмохимия, [S. l.], v. 13, n. 4, p. 265–270, 2015. Disponível em: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/344. Acesso em: 22 июл. 2024.