ДУНАЕВ, А.; АЛЯКИН, Д. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСЯХ HCl/Ar,Cl2,H2 МЕТОДОМ АСМ. Горение и плазмохимия, [S. l.], v. 13, n. 2, p. 148–153, 2015. Disponível em: https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/323. Acesso em: 3 июл. 2024.