Мурин, Д., Дунаев, А., Пивоваренок, С., & Алякин, Д. (2015). ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ТРАВЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ ФРЕОНА R12, МЕТОДОМ АСМ. Горение и плазмохимия, 13(4), 265–270. извлечено от https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/344