Дунаев, А., & Алякин, Д. (2015). ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСЯХ HCl/Ar,Cl2,H2 МЕТОДОМ АСМ. Горение и плазмохимия, 13(2), 148–153. извлечено от https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/323