Руденко, К., & Орликовский, А. (2014). Плазмостимулированное aтомно-слоевое осаждение в технологиях создания структур наноэлектроники. Горение и плазмохимия, 12(3), 183-188. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/728