Баринов, С., & Ефремов, А. (2014). Кинетика роста и плазменной деструкции пленок, осаждаемых в тлеющем разряде в метане. Горение и плазмохимия, 12(3), 171-176. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/726