Амиров И, Изюмов М, Наумов В. Ионное - и ионно-химическое травление пленок металлов в плотной плазме ВЧ индукционного разряда. ГиП. 2014;12(3):189-193. Accessed December 23, 2025. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/729