Руденко К, Орликовский А. Плазмостимулированное aтомно-слоевое осаждение в технологиях создания структур наноэлектроники. ГиП. 2014;12(3):183-188. Accessed December 23, 2025. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/728