Руденко К, Орликовский А. Плазмостимулированное aтомно-слоевое осаждение в технологиях создания структур наноэлектроники. Горение и плазмохимия. 2014;12(3):183-188. Accessed February 25, 2026. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/728