Баринов С, Ефремов А, Кучумов А. О влиянии состава смеси CH4+Ar на параметры плазмы и кинетику плазменной полимеризации в условиях тлеющего разряда постоянного тока. ГиП. 2014;12(3):177-182. Accessed December 23, 2025. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/727