Баринов С, Ефремов А. Кинетика роста и плазменной деструкции пленок, осаждаемых в тлеющем разряде в метане. Горение и плазмохимия. 2014;12(3):171-176. Accessed February 25, 2026. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/726