Баринов С, Ефремов А. Кинетика роста и плазменной деструкции пленок, осаждаемых в тлеющем разряде в метане. ГиП. 2014;12(3):171-176. Accessed December 23, 2025. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/726