Ситанов Д, Кашин В. Кинетика рекомбинации атомов в плазме хлора на образцах кремния. Горение и плазмохимия. 2014;12(3):165-170. Accessed February 25, 2026. https://cpc-journal.kz/index.php/cpcj/article/view/723