[1]
Дунаев, А. и Алякин, Д. 2015. ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПОСЛЕ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСЯХ HCl/Ar,Cl2,H2 МЕТОДОМ АСМ. Горение и плазмохимия. 13, 2 (апр. 2015), 148–153.