ИОНИЗАЦИОННО-ПОЛЕВАЯ НЕУСТОЙЧИВОСТЬ В ВЫСОКОЧАСТОТНОМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ - Двинин, С.А.; Довженко, В.А.; Синкевич, О.А. (Горение и плазмохимия, 2015)
Рассматривается ионизационная неустойчивость разряда, при поддержке плоской волны в бесконечной и конечной цилиндрической разрядной трубки. Когда условие резонанса при низком давлении нестабильность приводит к возбуждению поверхностных волн. Амплитуда поверхностной волны может превышать поле плоской волны, в результате чего существование разряда при более низких значениях поля и неоднородностью плазмы. Аналогичные эффекты могут происходить в больших размерах плазменного травления реакторов.